Flächenwiderstand
Von: , Frage gestellt am Fr, 27. Aug 1999
Wer kann mir sagen, wie und auf welcher Grundlage ich den Flächenwiderstand dünner Schichten messen kann? Was ist dabei zu beachten?
Manuela
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Antwort von nach 2 Tagen hilfreich
Re: Flächenwiderstand
Der Flächenwiderstand einer dünnen Schicht wird mit einer Vierpunktmessung bestimmt.
Dabei werden die Kontaktwiderstände zur Schicht vermieden.
An den zwei äußeren Kontakten wird ein Strom eingeprägt, an den zwei mittleren Kontakten die Spannung gemessen.
Durch Lösen der Laplacegleichung erhält man schließlich
RF= U/I *pi/ln 2
Das Verfahren ist in Halbleitertechnologiebüchern beschrieben, zb. E.Lüder Hybride Mikroschaltungen, Springer 1977
Gruß
Jochen