Gen Prozess reaktion Silizium Abgas Verunreinigungen

Siliziumherstellung

Von: , Frage gestellt am So, 10. Okt 1999

Hallo,
aus technischem Silizium wird Trichlorsilan hergestellt. Verunreinigungen
werden durch Destillation abgetrennt. Anschließend wird SiHCl3 reduziert und
zersetzt. Dazu sind folgende Formeln angegeben.

SiHCl3 + H2 -> Si + 3HCl

4
SiHCl3 -> Si + 3SiCl4 + 2H2

Nun die eigentliche Frage: Was besagt die zweite
Reaktionsgleichung? Läuft dieser Prozess neben der ersten Reaktion gleichzeitig
ab? Als Abgas sollte doch nur HCl entstehen.

Danke
Christian

1 Antworten zu dieser Frage

1. Antwort von nach 4 Tagen hilfreich

   Re: Siliziumherstellung

   Hallo,
   aus technischem Silizium wird
   Trichlorsilan hergestellt.
   Verunreinigungen
   werden durch Destillation abgetrennt.
   Anschließend wird SiHCl3 reduziert und
   zersetzt. Dazu sind folgende Formeln
   angegeben.
   
   SiHCl3 + H2 -> Si + 3HCl
   
   4
   SiHCl3 -> Si + 3SiCl4 + 2H2
   
   Nun die eigentliche Frage: Was besagt die
   zweite
   Reaktionsgleichung? Läuft dieser Prozess
   neben der ersten Reaktion gleichzeitig
   ab?
   Gute Frage! Ich vermute mal, daß es sich um eine Nebenreaktion handelt, die bei sorgfältiger Einhaltung der nötigen Reaktionsbedingungen allerdings praktisch nicht auftreten sollte. Aber was genaues weiß ich auch nicht.
   Danke
   Christian
   

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