hallo leute,
leider hab ich nirgens etwas gefunden. Wie stabil ist Aluminium in KOH?
Problem: anisotrope Strukturierung von Si, wenn schon eine Aluminiumschicht auf dem Wafer ist.
Gerhard
Aluminium in KOH löslich
Hi Gerhard
Aluminium ist nach
MORTIMER - Chemie - und
JANDER-BLASIUS - Einführung in das anorganisch-chemische Praktikum,
in KOH löslich.
Blos gut, das ich die Wälzer aufgehoben habe…
Wenn ich mich richtig an mein Chemipraktikum erinnere, dann klappt das mit dem Auflösen sogar recht gut.
Aluminium bildet dann einen Al[(OH)4]- Komplex
Hoffe es Hilft weiter, ansonsten gibt es noch einiges an Spezialliteratur (die ich nicht da habe)
Gruss, Mike
leider hab ich nirgens etwas gefunden. Wie stabil ist
Aluminium in KOH?
In KOH oder Kalilauge? Wenn Wasser in der Nähe ist, dann ist es um das Aluminium geschen. Es löst sich gemäß
Al + OH- + 3 H2O → [Al(OH)4]- + 1½ H2↑
unter heftiger Wasserstoffentwicklung zu Kaliumtetrahydroxoaluminat.
danke euch beiden, dann hab ich eben eine schwierigkeit mehr 
, aber der mensch wächst ja mit seinen problemen, oder ?
werd mich dann mal nach anderen mittelchen umschauen…
Gerhard
ABER,
das anisotrope Ätzen des Si wird durch die Hydroxidionen bewirkt, die ja dann auch das Al angreifen. Dann hab ich keine chance, das aluminium vor dem ätzen aufzubringen.
(ich weiss nicht, ob ich das alu mit einer schutzschicht versehen kann, das al befindet sich auf einer dünnen membran und soll als später als optische fläche wirken.)
gibt es ätzlösungen die ohne hydroxidionen funktionieren.???
Gerhard
gibt es ätzlösungen die ohne hydroxidionen funktionieren.???
Es wird schwierig werden etwas zu finden, was zwar Si aber kein Al angreift.
gibt es ätzlösungen die ohne hydroxidionen funktionieren.???
Es wird schwierig werden etwas zu finden, was zwar Si aber
kein Al angreift.
Hi,
Silicium läßt sich z.B. mit HF ätzen, das löst zwar mit der Zeit auch das Aluminium, aber das Si lößt sich deutlich schneller.
Ciao, Florian
Silicium läßt sich z.B. mit HF ätzen, das löst zwar mit der
Zeit auch das Aluminium, aber das Si lößt sich deutlich
schneller.
Wer arbeitet schon freiwillig mit HF?
Wer arbeitet schon freiwillig mit HF?
Naja, in der Halbleitertechnik eine der gängigsten Chemikalie, „man muß halt ein bisserl vorsichtig sein“ , nein im Ernst, Hantieren mit HF natürlich in voller „Montur“ !
Das Problem, HF ätzt Si nicht anisotrop, was ich bräuchte. Naja, trotzdem danke allen!
Gerhard
und ausserdem ätzt HF nicht Si sondern hauptsächlich Siliziumoxid.
Gerhard