Ätzmechanismus beim RIE von Germanium?

Wissenschaft Physik
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Guten Tag,
ich würde gerne wissen wie der Ätzmechanismus (Reaktionssgleichungen)beim Trockenätznen von Germanium abläuft?

Vielen Dank

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Guten Tag,

welches Ätzverfahren wendest du denn für Germanium an?

MfG

watergolf