
Servus Fee,
also bei einer PVD-Anlage handelt es sich um eine Vakuumanlage. Das bedeutet der Prozess findet im Vakuum statt und somit kannst du keine Dämpfe einatmen. Normalerweise entstehen bei dem Beschichtungsprozess auch nur sehr dünne Schichten und kein Pulver welches eventuell lungengängig und somit giftig seien könnte.
Natürlich kannst du auch Elemente wie Nickel abscheiden, welche dann bei einer Nickelallergie für dich giftig sind. Es ist auch vorstellbar, dass du einen reaktiven Prozess benutzt bei dem eventuell giftige Gase entstehen können. Das sollte jedoch kein Problem sein, da du die Abgase eh sicher ableiten musst!
Also kurz und knapp: NÖ!
Mit dem Plasma kommst du nur in Berührung wenn du in der Vakuumkammer bist (und das ist für dich tödlich!)! Ein Pulver entsteht normalerweise nicht im PVD-Prozess (ist aber nicht auszuschließen!).
Wie giftig deine hergestellten Schichten (und eventuell Pulver) sind hängt massiv von deinem Ausgangsmaterial ab! Aber als normaler Anwender wirst du ja eh Handschuhe an der Anlage tragen!!!
Und ein Normalsterblicher Endanwender kann sich PVD und CVD Schichten im Baumarkt auf den Bohrern anschauen und braucht vor giftigen Dämpfen keine Angst zu haben 
Grüße
BigHonk