Hallo zusammen,
ich habe mal eine Frage und hoffe jemand kann mir helfen.
Ich wollte gerne mal wissen,ob die Dämpfe die aus einer PVD(Physikalische Gasphasenabscheidung)Maschine rauskommen gesundheitsschädlich/giftig sind ??
Wenn ich schon mal dabei bin kann mir bestimmt auch noch jemand beantworten ob Plasmadämpfe gesundheitsschädlich/giftig sind!
Schonmal Danke für Eure Antworten!!
Grüße
Neugierige Fee
Servus Fee,
also bei einer PVD-Anlage handelt es sich um eine Vakuumanlage. Das bedeutet der Prozess findet im Vakuum statt und somit kannst du keine Dämpfe einatmen. Normalerweise entstehen bei dem Beschichtungsprozess auch nur sehr dünne Schichten und kein Pulver welches eventuell lungengängig und somit giftig seien könnte.
Natürlich kannst du auch Elemente wie Nickel abscheiden, welche dann bei einer Nickelallergie für dich giftig sind. Es ist auch vorstellbar, dass du einen reaktiven Prozess benutzt bei dem eventuell giftige Gase entstehen können. Das sollte jedoch kein Problem sein, da du die Abgase eh sicher ableiten musst!
Also kurz und knapp: NÖ!
Mit dem Plasma kommst du nur in Berührung wenn du in der Vakuumkammer bist (und das ist für dich tödlich!)! Ein Pulver entsteht normalerweise nicht im PVD-Prozess (ist aber nicht auszuschließen!).
Wie giftig deine hergestellten Schichten (und eventuell Pulver) sind hängt massiv von deinem Ausgangsmaterial ab! Aber als normaler Anwender wirst du ja eh Handschuhe an der Anlage tragen!!!
Und ein Normalsterblicher Endanwender kann sich PVD und CVD Schichten im Baumarkt auf den Bohrern anschauen und braucht vor giftigen Dämpfen keine Angst zu haben 
Grüße
BigHonk
Servus Fee,
also bei einer PVD-Anlage handelt es sich um eine Vakuumanlage. Das bedeutet der Prozess findet im Vakuum statt und somit kannst du keine Dämpfe einatmen. Normalerweise entstehen bei dem Beschichtungsprozess auch nur sehr dünne Schichten und kein Pulver welches eventuell lungengängig und somit giftig seien könnte.
Natürlich kannst du auch Elemente wie Nickel abscheiden, welche dann bei einer Nickelallergie für dich giftig sind. Es ist auch vorstellbar, dass du einen reaktiven Prozess benutzt bei dem eventuell giftige Gase entstehen können. Das sollte jedoch kein Problem sein, da du die Abgase eh sicher ableiten musst!
Also kurz und knapp: NÖ!
Mit dem Plasma kommst du nur in Berührung wenn du in der Vakuumkammer bist (und das ist für dich tödlich!)! Ein Pulver entsteht normalerweise nicht im PVD-Prozess (ist aber nicht auszuschließen!).
Wie giftig deine hergestellten Schichten (und eventuell Pulver) sind hängt massiv von deinem Ausgangsmaterial ab! Aber als normaler Anwender wirst du ja eh Handschuhe an der Anlage tragen!!!
Und ein Normalsterblicher Endanwender kann sich PVD und CVD Schichten im Baumarkt auf den Bohrern anschauen und braucht vor giftigen Dämpfen keine Angst zu haben
Grüße
BigHonk.
Hallo BigHonk
vielen Dank für die Hilfe hat mir fürs erste sehr geholfen.Wenn nochmal Fragen anstehen melde ich mich nochmal (-:!Grüße
Neugierige Fee
Hallo
es ist immer eine Frage was wird für eine Schicht erzeugt. Wie sind die Reaktivpartner. Solange es Gase wie Argon oder Stickstoff sind gibt es keinen Grund zur Sorge. Wird das ganze z.Bsp mit Silan oder Methan betrieben muß das Equipment auch auf Chemiebesändig getrimmt sein. ( Spezielle Pumpen, beständige Öle etc). Hier sollte dann vorsichtig mit den Spaltprodukten umgegangen werden.z.Bsp. Schutzkleidung beim Reinigen der Anlage incl. spezielle Chemiestaubsauger .Es geht aus der Frage aber nicht hervor wo befürchtet wird das die Dämpfe herauskommen? Geht es darum zu wissen: Gibt es ein Desorbat wenn die Kammer geöffnet wird oder geht es um die Abgase der Pumpsysteme. Hier ist es sowieso Vorschrift die Abgase durch eine Gaswäsche zu schicken bevor diese in die Außenluft abgegeben werden.
Wie kommst du zu der Frage?
Also wenn du von Plasma sprichst, kann das vieles sein.
Plasma ist ja kein Stoff, sonder ein Aggregatzustand eines Stoffes. in den Genuss den Plasmadampf selber einzuatmen wirst du wahrscheinlich weniger kommen, da zu der Entstehung des Plasmas ein Vakuum von nöten ist.
Wird die Kammer, in der sich das Plasma befindet, durch eine Vakuumpumpe abgesaugt, kommt am anderen Ende der Pumpe Partikel des Verdampften Stoffes raus. Das hat dann aber nichts mehr mit Plasma zu tun. Je nachdem, was du dann da Verdampft hast, könnte sowas auch schädlich sein. Vor allem werden da wahrscheinlich auch Nanopartikel enthalten sein. Und die sind ja sowieso momentan in der Diskussion.
Hoffe ich konnte ein kleinen Tipp geben.
Bei weiteren Fragen, stehe ich zur Verfügung.
Hallo Fee,
Gottseidank gibt es so gut wie keine Dämpfe die aus einer PVD-Anlage rauskommen.
Herausgepumpt wird nur das was reinströmt, z.B. Ar, N2, H2 oder andere Gase welche auch sonst in der Natur vorkommen.
Ich spreche hier von PVD-Standardprozessen.
Plasmadämpfe gibt es bei PVD nicht, da sich das Plasma ja nur auf beschränkte Bereiche in einer Anlage beschränken. Wo das Plasma aufhört sind nur mehr die angesprochenen Prozeßgase vorhanden.
Ich hoffe dir geholfen zu haben
SG
Hallo,
ich habe gefragt,weil wenn ich ab und zu mal den ganzen Tag an der PVD Anlage arbeiten muss.Ist mir halt schon aufgefallen das da immer so ein komischer Geruch rauskommt bei „Kammer“ öffnen und meiner Meinung nach riecht das nicht wirklich gesund!
Danke für die Hilfe!!!
Grüße
Neugierige Fee
Hallo,
ich habe gefragt,weil wenn ich ab und zu mal den ganzen Tag an der PVD Anlage arbeiten muss.Ist mir halt schon aufgefallen das da immer so ein komischer Geruch rauskommt bei „Kammer“ öffnen und meiner Meinung nach riecht das nicht wirklich gesund!
Danke für die Hilfe!!!
Grüße
Neugierige Fee .
Hallo Fee,
welche Schichten werden in der Kammer abgeschieden?
Grüße
Hallo Fee,
welche Schichten werden in der Kammer abgeschieden?
Grüße
Das weiss ich leider nicht genau,da ich nur selten an der Maschine arbeite.
Das ist schade.
Vielleicht kannst du es ja mal herausfinden.
Dann kann man genauere Bewertungen abgeben.
m.