hallo ich möchte zum veraschen von waferchips in einer mikrowelle ein plasma mit luft erzeugen. welchen unterdruck muss ich mindestens erzeugen damit ein plasma zündet? Die Qualität des Plasmas ist nicht entscheident.
Genau beantworten kann ich das leider nicht, ich habe nur Erfahrungswerte für ein durch elektrische Spannung erzeugtes Plasma.
Die Elektroden waren relativ klein (ca. 2 cm langer Stift mit Spirale außenrum, Innendurchmesser etwa 1 cm), die Größenorndungen von Spannung und Strom waren um die 500 Volt und 1 mA (es ging also auch bei Leistungen