German:
In eine mittels Vakuumpumpe evakuierte Probenkammer wird über ein Gasdrosselventil Argongas eingelassen. Um einen Druck von 0.05 bis 0.1 mbar und eine möglichst reine Argonatmosphäre zu erreichen, muss man die Probenkammer mehrmalig mit Argongas spülen (Resine).
Durch das Anlegen einer Hochspannung (an Kathode), gibt es zwischen dem Target und dem Probentisch (Anode) ein Hochspannungsfeld. Die in diesem Feld vorhanden freien Elektronen werden mit Hilfe eines Magnetsystems auf torusförmige (Pic. 1) Bahnen gezwungen und stossen dort mit vorhandenen Argonatomen zusammen. Bei jedem Zusammenprall wird die äusserste Schale des Argonatoms ein Elektron entzogen. Dadurch wird das neutrale Argonatom zum positiv geladenen Argonion.
Dieser Prozess läuft lawinenartig ab: es wird eine Glimmentladung oder Plasma (Pic. 2+3) gezündet. Die positiv geladenen Argonionen werden nun zur Kathode( Target) hin beschleunigt und schlagen bei ihrem Aufprall Metallatome aus dem Target heraus + geht ja bekanntlich zu – geladenen Teilchen.
Streuung: Zwischen den frei gewordenen Metallatomen und den in diesem Druckbereich reichlich vorhanden Gasmolekülen kommt es in Folge zu wiederholten Zusammenstössen. Dies bewirkt eine starke Streuung der Metallatome, d.h. es ensteht einen diffuse Wolke, aus der die Metallatome aus allen Richtungen gleichmässig auf die Probe gelangen und sich darauf ablagern. (Vergleichbar mit Schnee). Diese dünne Metallschicht (ca. 10 nm Dicke) genügt, um die Probe elektrisch Leitfähig zu machen.
English:
In an evacuated by vacuum pump sample chamber is admitted through a gas throttle valve argon gas. In order to achieve a pressure of 0.05 to 0.1 mbar and a pure argon atmosphere as possible, you flushing the sample chamber several times with argon gas (Resin).
By applying a high voltage (at cathode), there is between the target and the specimen table (anode), a high-voltage field. The free electrons present in this field are using a toroidal (Pic.1) magnet system forced to collide with existing lines and had argon atoms together. At each collision the outermost shell of the argon atom is removed from an electron. This is the neutral argon atom to the positively charged argon ion.
This process is snowballing: it will set off a glow discharge or plasma(Pic. 2+3). The positively charged argon ions are now to the cathode (target) is accelerated towards and strike out on their impact metal atoms from the target. + Is well known, too – charged particles.
scattering: Between the metal atoms released in this pressure range and the abundant gas molecules occurs due to repeated collisions. This causes a strong scattering of metal atoms, this means the arising a diffuse cloud, get out of the metal atoms equally from all directions on the sample and deposited it. (Similar to snow). This thin metal layer (10 nm thickness) is sufficient to make the electrical conductivity test.
